流量顯示儀用于為氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)和質(zhì)量流量計(jì)(MFM)提供工作電源、操作控制、流量設(shè)定和流量數(shù)字顯示等。
單通道流量顯示儀 多通道流量顯示儀
目前市場(chǎng)上常見(jiàn)的流量顯示儀一般采用塑料機(jī)殼,體積較小,便于安裝。流量輸入輸出信號(hào),一般是標(biāo)準(zhǔn)的 0~+5V 電壓信號(hào)或4~20mA的電流信號(hào)。
有些流量顯示儀帶有流量設(shè)定和閥控功能,也叫流量顯示控制儀,這種顯示儀可與工作電源為±15V 的 或24V的MFC(或MFM)配套使用。
1、 基準(zhǔn)源和流量的設(shè)定
以0~5V的電壓模擬信號(hào)為例,在顯示儀中設(shè)計(jì)有+5.00V 基準(zhǔn)電源,它加載到設(shè)定電位器上,通過(guò)操作者手動(dòng)調(diào)節(jié)面板上的設(shè)定電位器,提供 0~5.00V 的設(shè)定電壓輸出給MFC,用來(lái)控制 MFC 的流量。該電源設(shè)計(jì)有開(kāi)機(jī)軟啟動(dòng)電路,當(dāng)顯示儀接通電源時(shí),基準(zhǔn)源緩慢從 0V 升至+5.00V.。
2、數(shù)字顯示器
顯示器用來(lái)顯示流量,流量顯示的單位有“SCCM"、“SLM"、“%"三種。通常,流量顯示儀與 MFC(或 MFM)配套出廠時(shí),將顯示器顯示的量值和單位與其對(duì)應(yīng)的 MFC(或 MFM)通道的量值和單位調(diào)整成一致。如果用戶(hù)訂貨時(shí)沒(méi)有注明 MFC(或 MFM)的流量規(guī)格,則出廠調(diào)整為按滿(mǎn)量程的百分比顯示,它與任何規(guī)格的 MFC(或 MFM)配合使用時(shí),滿(mǎn)量程均顯示“100.0%"。在流量顯示儀的面板上,設(shè)計(jì)有流量單位指示燈,SCCM 或 SLM,如果兩個(gè)均不亮,則表示單位為%。
3、閥控開(kāi)關(guān)
帶流量調(diào)節(jié)、流量控制功能的流量顯示儀會(huì)帶有“閥控"開(kāi)關(guān)。閥控開(kāi)關(guān)有三個(gè)位置,正常工作時(shí)置于“閥控"位,需要通氣吹洗管路時(shí),可選擇“清洗"位,停止使用時(shí)應(yīng)置于“關(guān)閉"位。
4、調(diào)零電位器
面板上設(shè)計(jì)有外“調(diào)零"電位器,可以用來(lái)在小范圍內(nèi)調(diào)整MFC(或MFM)產(chǎn)品的零點(diǎn)。
5、多通道流量顯示儀
可以一臺(tái)顯示儀同時(shí)接3、4臺(tái) 質(zhì)量流量控制器MFC 或 質(zhì)量流量計(jì)MFM。
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