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流量控制智能數(shù)顯電子壓力控制器EPC/壓力計: -- 直通式設(shè)計,測量范圍從100Pa 到 20MPA(絕壓和表壓皆可); -- 精確度高、重復(fù)性好,分為前壓控制和背壓控制兩種; -- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制; -- 該基本數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能; -- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號。
泄露檢測及氣密檢測壓力控制器EPCD: -- 集成兩個電磁閥,進氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時,泄壓閥自行打開進行泄壓, 快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時避免氣體浪費。
自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計: -- 直通式設(shè)計,測量范圍從100Pa 到 20MPA(絕壓和表壓皆可)。 -- 精確度高、重復(fù)性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。 -- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。 該數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。 -- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號。
可自動補氣高精度氣體壓力控制器EPC/壓力計: -- ACU20P系列壓力控制器配備高性能傳感器和數(shù)字電路板,可提供更高精度和性能的壓力控制, -- 通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程,除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外,還支持Profibus協(xié)議。
密閉容器進氣排氣專用雙閥壓力控制器EPCD: -- 集成兩個電磁閥,進氣閥將過程氣體引入腔體,保持密閉空間的壓力,壓力過高時,泄壓閥自行打開進行泄壓。 -- 快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定,同時避免氣體浪費。 -- 無需使用排氣閥便能實現(xiàn)密閉或者端閉容器內(nèi)的壓力控制。
數(shù)字式單閥反應(yīng)釜壓力調(diào)節(jié)控制器EPC/壓力計: -- 直通式設(shè)計,測量范圍從100Pa 到 20MPA(絕壓和表壓皆可) -- 精確度高、重復(fù)性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。 -- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板,提供高精度、穩(wěn)定可靠的壓力測量和控制。 -- 基本數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。 -- 配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號。
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