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負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC: ◆精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口; ◆管狀分流,不易堵塞; ◆適用于各種低壓和高壓管道,以及抽真空的環(huán)境; ◆預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高; ◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量; ◆數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;
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