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一、工況需求某企業(yè)需要集成一臺(tái)壓力測(cè)試設(shè)備,該設(shè)備需具備氣體壓力控制功能。需要配置一臺(tái)壓力控制器,控制壓力須為15兆帕高壓,200L/min大流量等相關(guān)工況需求...
氣體是電子工業(yè)的“血液”,尤其在半導(dǎo)體、光伏、光纖、顯示器等行業(yè)中是關(guān)鍵性材料。例如,在集成電路制造中氣體的占比僅次于硅片,占晶圓制造成本的13%。主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)涉及的氣體品種繁多,用途五花八門,...
質(zhì)量流量計(jì)MFM、流量控制器MFC、以及電子壓力控制器EPC是精度較高的流量?jī)x表,在科研、醫(yī)療、食品、半導(dǎo)體及各行業(yè)工業(yè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的流量?jī)x表產(chǎn)品是通過電流或電壓模擬信號(hào),或者數(shù)字通訊(Modbus、Devicenet,P...
質(zhì)量流量控制器不僅能檢測(cè)總流量,并且能在檢測(cè)時(shí)自動(dòng)控制總流量??蛻裟芨鶕?jù)本身的所需設(shè)置總流量。一般來說,這種質(zhì)量流量計(jì)僅用作流量測(cè)量或監(jiān)測(cè)。該流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理檢測(cè)氣體質(zhì)量流量(無氣溫和負(fù)擔(dān)應(yīng)對(duì))。傳感器受熱橋測(cè)得的總流量...
本文所述的小口徑、微小流量液體流量控制器是指流道管徑小于2”,流量小于2500Kg/h的小流量;尤其是對(duì)管徑更小,而流量小于1Kg/h,或者1000ml/h的更小流量的控制。對(duì)于液體流量計(jì)(只測(cè)流量,不控制流量),市場(chǎng)上的種類很多,但是可以...
質(zhì)量流量控制器(MFC)在控制氣體流量時(shí),由于需要通過控制流量控制閥的開度實(shí)現(xiàn)流量控制,所以需要滿足一定的壓差條件(即其進(jìn)氣端壓力要比出氣端壓力大一定的數(shù)值),需要控制的流量越大,需要流量控制閥的開度就越大,這個(gè)壓差值就需要越大(即當(dāng)其出口...
氣體和液體是工業(yè)生產(chǎn)或科研實(shí)驗(yàn)常用的流體,在實(shí)際應(yīng)用過程中經(jīng)常需要用到流體的流量來代表流體量的多少,并且使用體積流量單位較多,尤其是氣體,但是氣體的體積受到溫度和壓力的影響會(huì)比較大。而實(shí)際應(yīng)用時(shí),工況變化是比較復(fù)雜的,同一段管路可能不同位置...
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